ION-IMPLANTATION RANGES AND STANDARD DEVIATIONS


(D9.1)

Подпись: (D9.1). Dose per area N(x) = = exp

2A R2

Подпись: 2A R2J27T&R

TABLE D9.1

Ion implantation projected range (Rp) and standard deviation (ARp) into Si.1

ANTIMONY

ARSENIC

BORON

PHOSPHORUS

ENERGY

RP

ARp

RP

ARp

RP

ARp

RP

**P

(keV)

frim)

(^m)

(^m)

(nm)

(M-m)

(jim)

(im)

(M-ni)

10

0.0088

0.0026

0.0097

0.0036

0 0333

0.0171

0.0139

0.0069

20

0.0141

0.0043

0.0159

0.0059

0.0662

0.0283

0.0253

0.0119

30

0.0187

0.0058

0.0215

0.0080

0 0987

0.0371

0 0368

0.0166

40

0.0230

0.0071

0.0269

0.0099

0.1302

0.0443

0.0486

0.0212

50

0.0271

0.0084

0 0322

0 0118

0 1608

0.0504

0 0607

0.0256

60

0.0310

0.0096

0.0374

0.0136

0.1903

0.0556

0.0730

0.0298

70

0.0347

0.0107

0.0426

0.0154

0 2188

0.0601

0 0855

0.0340

80

0.0385

0.0118

0.0478

0.0172

0 2465

0.0641

0 0981

0.0380

90

0.0421

0.0130

0.0530

0 0189

0.2733

0.0677

0.1109

0.0418

100

0.0457

0.0140

0.0582

0.0207

0 2994

0.0710

0.1238

0.0456

110

0.0493

0.0151

0.0634

0 0224

0.3248

0.0739

0.1367

0.0492

120

0.0529

0.0162

0 0686

0.0241

0.3496

0.0766

0 1497

0.0528

130

0.0564

0.0172

0.0739

0.0258

0.3737

0.0790

0.1627

0.0562

140

0.0599

0.0183

0.0791

0.0275

0.3974

0.0813

0 1757

0.0595

150

0.0634

0.0193

0.0845

0.0292

0.4205

0 0834

0 1888

0 0628

160

0.0669

0.0203

0.0898

0.0308

0.4432

0.0854

0.2019

0.0659

170

0.0704

0.0213

0.0952

0 0325

0.4654

0.0872

0.2149

0.0689

180

0.0739

0.0224

0 1005

0.0341

0 4872

0.0890

0 2279

00719

190

0.0773

0.0234

0.1060

0 0358

0 5086

0.0906

0.2409

0.0747

200

0.0808

0.0244

0.1114

0.0374

0.5297

0.0921

02539

0.0775

220

0.0878

0.0264

0.1223

0.0407

0.5708

0.0950

0 2798

0.0829

240

0 0947

0.0283

0.1334

0.0439

0 6108

0 0975

0.3054

0.0880

260

0.1017

0.0303

0.1445

0.0470

0.6496

0 0999

0.3309

0 0928

280

0 1086

0.0322

0 1558

0.0502

0.6875

0.1020

0 3562

0.0974

300

0 1156

0 0342

0 1671

0 0533

0 7245

0 1040

0 3812

0 1017

TABLE D9.2

Ion implantation projected range (Rp) and standard deviation (ARp) into Si02.‘

ANTIMONY

ARSENIC

BORON

PHOSPHORUS

ENERGY

Rp

A Rp

Rp

**P

Rp

A Rp

RP

**P

(keV)

(*im)

fain)

fam)

fttm)

ftim)

(jim)

(Mm)

(fim)

10

0 0071

0 0020

0.0077

0 0026

0 0298

0 0143

0.0108

0.0048

20

0.0115

0.0032

0.0127

0.0043

0 0622

0.0252

0.0199

0.0084

30

0.0153

0.0042

0.0173

0 0057

0.0954

0.0342

0.0292

0.0119

40

0.0188

0.0052

0.0217

0 0072

0.1283

0 0418

0.0388

0.0152

50

0.0222

0 0061

0 0260

0 0085

0 1606

0.0483

0 0486

00185

60

0.0254

0.0070

0 0303

0 0099

0.1921

0.0540

0.0586

0.0216

70

0.0286

0 0078

0 0346

0.0112

0.2228

0 0590

0 0688

0.0247

80

0.0316

0.0086

0 0388

0 0125

0 2528

0 0634

0 0792

0.0276

90

0 0347

0 0094

0 0431

O. OI38

02819

0 0674

0 0896

0.0305

100

0 0377

0 0102

0.0473

0 0151

0 3104

0 0710

0 1002

0 0333

110

0.0406

0.0110

00516

0.0164 1

0 3382

0.0743

0.1108

0.0360

120

0 0436

0 0118

0.0559

0.0176

0.3653

0 0774

0.1215

0.0387

130

0 0465

0 0126

0.0603

0 0189

03919

0.0801

0.1322

0.0412

140

0 0494

0 0133

0.0646

0.0201

0.4179

0.0827

0.1429

0.0437

150

0 0523

0 0141

0.0690

0 0214

0 4434

0 0851

0.1537

0.0461

160

0.0552

0 0149

0 0734

0 0226

0.4685

0.0874

0.1644

0 0485

170

0.0581

0 0156

0 0778

0 0239

0.4930

0 0895

0.1752

0.0507

ISO

0.06 О0

0.0164

0.0823

0 0251

0.5172

0.0914

0.1859

0.0529

190

0.0639

00171

0.0868

0.0263

0.5409

0 0933

0.1966

0.0551

200

0 0668

0 0178

0.0913

0 0275

0 5643

0.0951

0.2073

0.0571

220

0.0726

0.0193

0 1003

0.0299

0.6100

0.0983

0.2286

0 0611

240

0 0784

0.0208

0 1095

0 0323

0.6544

0.1013

0.2498

0.0649

260

0.0842

0.0222

0.1187

0 0347

0 6977

0.1040

0.2709

0.0685

280

0 0900

0.0237

0 1280

0 0370

0.7399

0.1065

0.2918

0.0719

300

0 0958

0 0251

0 1374

0 0394

0.7812

0.1087

0 3125

0 0751

TABLE D9.3

Ion implantation projected range (Rp) and standard deviation (ARP) into Si3N4.‘

ANTIMONY

ARSENIC

BORON

PHOSPHORUS

ENERGY

RP

ARp

RP

**P

Rp

**P

RP

(keV)

(H“)

(Hin)

ftim)

aim)

(H»n)

(H»n)

(^m)

10

0 0056

0 0015

0 0060

0.0020

0.0230

0.0ОI1

0.0084

0.0037

20

0.0090

0.0024

0.0099

0.0033

0 0480

0 0 О 96

0.0 О 54

0.0065

30

0.0ОО9

0.0033

0.0 О 35

0.0045

0.0736

0.0267

0.0226

0.0092

40

0.0147

0.0040

0.0169

0.0056

0.0990

0.0326

0 0300

0.0118

50

0.0173

0 0047

0 0202

0.0066

0.1239

0 0377

0.0376

0.0143

60

0.0197

0 0054

0 0235

0.0077

0.О482

0.0422

0.0453

0 0168

70

0.0222

0 006О

0 0268

0.0087

0.О7О9

0.046О

0.0532

0.0 О 92

80

0.0246

0.0067

0 030О

0 0097

0 1950

0 0496

0 0612

0 0215

90

0.0269

0.0074

0 0334

0 0108

0.2О76

0.0527

0.0693

0.0237

О00

0.0292

0 0080

0.0367

00118

0 2396

0 0555

0 0774

0 0259

no

0.0315

0 0086

0 0400

0 0127

0.26 О 0

0.058О

0.0856

0.0280

О20

0.0338

0.0092

0 0433

00137

0.2820

0.0605

0.0939

0 030О

О30

0.0360

0.0098

0.0467

0 0147

0.3025

0.0627

0.О022

0 0321

О40

0.0383

0.0104

0.0500

0 0157

0 3226

0.0647

0.1105

0 0340

150

0.0405

0 01О0

0 0534

00167

0 3424

0.0666

0 1188

0 0358

О60

0.0428

0.0О О6

0.0568

0 0176

0.3617

0.0684

0.О27О

0.0377

О 70

0 0450

0.0О22

0.0603

0.0186

0.3807

0 0700

0.О354

0.0394

180

0.0472

0.0О28

0.0637

0 0195

0.3994

0.0716

0.О437

0 04ОО

190

0.0495

0 0134

0.0672

0 0205

0.4О78

0 073 О

0.О520

0.0428

200

0.0517

0.0О39

0.0706

0 0214

0.4358

0.0744

0.1602

0.0444

220

0.0562

0.0О5О

0 0776

0.0233

0.4712

0.0770

0.1767

0.0475

240

0.0606

0.0162

0.0847

0.0252

0.5056

0.0793

0.1931

0.0505

260

0.065 О

0.0 О 74

0.09О8

0.0270

0.5390

0.0815

0.2094

0.0533

280

0.0696

0.0 85

0.0990

0 0289

0.5717

0.0834

0.2255

0.0559

300

0 074О

0 0О96

0 1063

0 0307

0 6037

0 0852

0.2415

0 0584

Leave a Reply

Your email address will not be published. Required fields are marked *

Confirm that you are not a bot - select a man with raised hand: